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工艺自动化技术:半导体晶圆和显示面板制造的工艺自动搬送技术、汽车制造焊装和涂装工艺的机器人焊接和喷涂技术
工艺动力技术:半导体晶圆和显示面板制造的工艺特气、化学品、超纯水、大宗气体等供给技术
能源平衡技术:半导体晶圆和显示面板制造电能平衡与节能技术、冷热负荷平衡及节能技术
废水回收技术:半导体晶圆和显示面板制造的水平衡与工艺水回收技术、废水回收技术
污染减排技术:半导体晶圆和显示面板制造的废气处理及减排技术