核心技术设计
面板制造工艺设计:工艺流程与机台布局方案、工艺物料存储输送方案、洁净人物流方案
工艺设施系统设计:超纯水系统、废水系统、化学品系统、特气系统、大宗气系统、工艺排气(GEX/AEX/CEX/VEX)
FAB厂房设计:C/R(洁净控制、温湿度控制、差压控制、分子污染控制、微振控制、静电控制)、Dirty-SubFAB非洁净层
工艺自动化设计:工艺物料自动搬送系统AMHS
公用动力设计:冷热水系统、工艺冷却水系统、工艺真空系统、市电及应急发电系统、重要工艺电源(VDP)
废水处理设计:工艺酸/碱/有机/铜/研磨等废水/洗涤塔排放废水/纯水制备废水及废液收集
厂务系统设计:FMCS
气体探测设计:GDS
EHS设计:消防、环境、职业健康、安全、节能等专篇
投资预设计:投资可行性研究及方案设计、环境评价设计、职业健康评价设计、安全预评价设计
关键技术目标
FAB/CUB建筑结构方案与经济性 C/R_经济性先进性扩展性 FAB/CUB建筑结构与工艺设施负荷符合性
动力能源布局方案科学合理性 废水废气治理方案合规性 环境职业健康安全方案合规性
水平衡及回收方案合规性 LEED或绿建方案合规性
工程施工技术
FAB厂房施工: Waffle楼板、大体积砼、高支模、清水混凝土、大跨钢构、二次钢构、重载楼板防水隔热、硬化地面、外墙铝板
C/R洁净内装施工: 洁净壁板、T-Grid、高架地板、洁净环氧、自流坪、回风井、上下技术夹层、技术层二次管架、空间管理
C/R洁净通风施工:洁净风管、FFU安装、DCC安装、MAU安装、冷冻水管
工艺施工:超纯水系统&管道、废水系统&管道、化学品系统&管道、特气系统&管道、大宗气体系统&管道
工艺AMHS施工: 轨道施工、设备安装、电气施工、MCS及调试
工艺排风施工:工艺GEX/AEX/CEX/VEX排风管、酸/碱SCRB、VOC
工艺动力施工:工艺冷却水PCW、工艺真空PV、NGS天然气
工艺电力施工:I-Line盘、PBB工艺母线、VDP稳压电源、EGS发电系统
公用动力施工:CHW冷冻水系统、CTW冷却水、Boiler热水系统、中高压电力系统
研发&创新